ГОСТ Р 8.636-2007

ГСИ. Микроскопы электронные растровые. Методика калибровки

Статус:действующий (Введен впервые)
Обозначение:ГОСТ Р 8.636-2007
Название рус.:ГСИ. Микроскопы электронные растровые. Методика калибровки
Дата актуализации текста:01.01.2009
Дата добавления в базу:29.04.2009
Дата введения в действие:01.08.2008
Разработан в:ОАО "Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума"
МФТИ (ГУ)
Утверждён в:Ростехрегулирование (20.11.2007)
Опубликован в:Стандартинформ № 2008
Область и условия применения:Настоящий стандарт распространяется на растровые электронные микроскопы, применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10-9 до 10-6 м, и устанавливает методику их калибровки с помощью рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629.
Оглавление:1 Область применения
2 Нормативные ссылки
3 Термины и определения
4 Технические требования
5 Требования к квалификации калибровщиков
6 Требования по обеспечению безопасности
7 Подготовка к процедуре калибровки
8 Процедура проведения измерений
9 Обработка результатов измерений
10 Оценка неопределенности измерений параметров
11 Оформление результатов калибровки
Библиография
Ключевые слова:длина рельефные меры нанометрового диапазона методика калибровки растровые электронные микроскопы