ГОСТ 8.591-2009

ГСИ. Меры рельефные нанометрического диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки

Статус:действующий (Введен впервые)
Обозначение:ГОСТ 8.591-2009
Название рус.:ГСИ. Меры рельефные нанометрического диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки
Дата актуализации текста:17.06.2011
Дата добавления в базу:17.06.2011
Дата введения в действие:01.11.2010
Разработан в:ОАО "Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума"
МФТИ (ГУ)
ФГУ "Российский научный центр "Курчатовский институт"
Утверждён в:Ростехрегулирование (05.04.2010)
Опубликован в:Стандартинформ № 2010
Область и условия применения:Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов, линейные размеры и материал для изготовления которых соответствуют требованиям ГОСТ 8.592. Рельефные меры применяют для измерения линейных размеров в диапазоне от 10-9 до 10-6 м.
Настоящий стандарт устанавливает методику первичной и периодических поверок рельефных мер.
Оглавление:1 Область применения
2 Нормативные ссылки
3 Термины и определения
4 Операции и средства поверки
5 Требования к квалификации поверителей
6 Требования безопасности
7 Условия поверки и подготовка к ней
8 Проведение поверки
9 Обработка результатов измерений
10 Оформление результатов поверки
Приложение А (справочное) Вычисление показателя преломления воздуха
Библиография
Ключевые слова:методика поверки сканирующий зондовый атомно-силовой микроскоп рельефные меры нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов лазерный интерферометр